מטרת צילינדר מסתובב טיטניום

זהו רכיב המשמש בתהליכי שקיעת אדים פיזית (PVD), שהיא שיטה להנחת סרטים דקים של חומר על גבי מצע. מטרת צינור הטיטניום עשויה מטיטניום טהור וצורתו כמו גליל המסתובב במהלך תהליך ה-PVD.

תהליך ה-PVD פועל על ידי שימוש בקשת חשמלית או מקרטעת מגנטרון כדי לאדות את חומר המטרה, במקרה זה, טיטניום, ולהפקיד אותו כסרט דק על המצע. מטרת הגליל המסתובבת מאפשרת שקיעה אחידה יותר של סרט הטיטניום על המצע.

היתרונות של שימוש בתהליכי PVD כוללים טוהר גבוה של הסרט שהופקד, קצב שיקוע גבוה ושיפור הידבקות הסרט. מטרות הטיטניום הסיבוביות לקפיצת מגנטרון עשויות מחומר טיטניום איכותי ומתוכננות לעמוד בטמפרטורות גבוהות ובלחצים מכניים במהלך תהליך ה-PVD.

מבוא מפרט

סוג גודל רגיל:

היתרון שלנו

למטרות הטיטניום שאנו מספקים יש גרגרים קטנים, פיזור אחיד, טוהר גבוה, מעט תכלילים וטוהר גבוה. הסרט TiN שהופקד משמש בקישוט, כלי עבודה, מוליכים למחצה ותחומים אחרים, עם הידבקות טובה, ציפוי אחיד וצבעים בהירים.

--טוהר

כדי לייצר מטרה מוסמכת לקפיצת טיטניום, טוהר הוא אחד ממדדי הביצועים החשובים שלו. לטוהר מטרת הטיטניום יש השפעה רבה על הביצועים של ציפוי הקפיצה. ככל שהטוהר של מטרת הטיטניום גבוהה יותר, כך פחות חלקיקי יסוד הטומאה בסרט הטיטניום המקרטע, וכתוצאה מכך ביצועים טובים יותר של ציפוי PVD, כולל עמידות טובה יותר בפני קורוזיה ותכונות חשמליות ואופטיות. עם זאת, ביישומים מעשיים, למטרות טיטניום למטרות שונות יש דרישות שונות לטוהר. חומר המטרה משמש כמקור הקתודה בקילוח, ואלמנטי הטומאה ותכלילי הנקבוביות בחומר הם מקורות הזיהום העיקריים של הסרט המופקד. תכלילי הנקבוביות יוסרו בעצם במהלך הבדיקה הלא הרסנית של המטיל, ותכלילי הנקבוביות שלא יוסרו יגרמו לפריקה במהלך תהליך הקפיצה, ובכך ישפיעו על איכות הסרט; התוכן של יסודות הטומאה יכול לבוא לידי ביטוי רק בתוצאות הבדיקה של ניתוח אלמנטים מלאים, ככל שתכולת הטומאה הכוללת נמוכה יותר, כך הטוהר של יעד הטיטניום גבוה יותר.

--צפיפות

צפיפות היא גם גורם חשוב למדידת איכות מטרות טיטניום. על מנת להפחית את הנקבוביות במוצק המטרה ולשפר את הביצועים של הסרט המקרטע, המטרה בדרך כלל נדרשת להיות בעלת צפיפות גבוהה יותר.

צפיפות המטרה משפיעה לא רק על קצב הקפיצה, אלא גם על המאפיינים החשמליים והאופטיים של הסרט. ככל שצפיפות המטרה גבוהה יותר, כך הביצועים של הסרט טובים יותר. בנוסף, הגדלת הצפיפות והחוזק של המטרה מאפשרת למטרה לעמוד טוב יותר בלחץ תרמי במהלך הקפיצה. צפיפות היא גם אחד ממדדי הביצועים העיקריים של היעד.

--גודל חלקיק והפצה שלו

בדרך כלל, מטרות מקרטעות הן מבנים רב-גבישיים עם גדלי גרגרים בסדר גודל של מספר מיקרומטרים עד מספר מילימטרים. עבור אותה מטרה, ככל שגודל החלקיקים של המטרה קטן יותר, כך מהירות הקפיצה של המטרה תהיה מהירה יותר; בנוסף, המטרה עם הבדל קטן יותר בגודל החלקיקים יכול לקרטט סרט עם עובי אחיד יותר. המחקר מצא שאם גודל הגרגירים של יעד הטיטניום נשלט מתחת ל-100 מיקרומטר, והשונות בגודל הגרגירים נשמרת בטווח של 20%, ניתן לשפר מאוד את איכות הסרט המקרטע.

--כיוון קריסטלוגרפי

לטיטניום מבנה משושה צפוף. מכיוון שהאטומים של מטרת הטיטניום מקרזים בקלות לאורך הכיוון הצפוף המשושה של האטומים במהלך הקפיצה, על מנת להשיג קצב ריזור גבוה יותר, ניתן לשנות את מבנה הגבישי של המטרה על ידי שינוי השיטה. כדי להגביר את קצב הקפיצה. לכיוון הקריסטלוגרפי של מטרת הטיטניום יש גם השפעה רבה על אחידות העובי של הסרט המקרטע.

--אחידות מבנית

אחידות מבנית היא גם אחד המדדים החשובים לבחינת איכות היעד. עבור מטרות טיטניום, נדרשים לא רק מישור הקפיצה של המטרה, אלא גם הרכב הכיוון הרגיל, כיוון הגרגר ואחידות גודל הגרגר הממוצעת של מישור הקפיצה. רק בדרך זו, מטרת הטיטניום יכולה להשיג סרט טיטניום בעל עובי אחיד, איכות אמינה וגודל גרגר עקבי בו-זמנית במהלך חיי השירות שלו.

מארז מפרט

מהירות סיבוב: המטרה צריכה להיות מסוגלת להסתובב במהירויות של עד כמה אלפי סל"ד כדי להשיג קצב שיקוע אחיד יותר ולהאריך את חיי המטרה.

קירור: מטרת צינור הטיטניום צריכה להיות מקוררת במים כדי לפזר את החום שנוצר במהלך תהליך השקיעה ולמנוע נזק למטרה.
לוח גיבוי: לוח גיבוי טיטניום משמש בדרך כלל כדי לתמוך ביעד הגליל המסתובב ולספק מגע חשמלי.
שיטת הדבקה: המטרה מחוברת בדרך כלל ללוח התומך באמצעות הדבקת דיפוזיה או שיטות הדבקה אחרות בעלות חוזק גבוה כדי להבטיח מוליכות תרמית וחשמלית טובה.
טוהר: מטרות הטיטניום הסיבוביות לקפיצת מגנטרון צריכות להיות ברמת טוהר גבוהה כדי למזער את הזיהומים בסרטים שהופקדו ולהבטיח ביצועים עקביים. רמת הטומאה צריכה להיות פחות מ-1000 חלקים למיליון (ppm) עבור רוב היישומים.

בסך הכל, המפרטים של יעד צילינדר מסתובב טיטניום ישתנו בהתאם לדרישות היישום הספציפיות, וניתן להתאים את היעד כדי לענות על צרכים אלה.

תגיות פופולריות: מטרות סיבוביות טיטניום לקפיצת מגנטרון, מטרת צינור טיטניום